{"product_id":"smc-xlc-high-vacuum-l-type-valve","title":"SMC XLC High Vacuum L-Type Valve (Double Acting, Bellows, 16-160)","description":"\u003cp class=\"ps-intro\"\u003eSMC XLC double-acting aluminum high vacuum L-type valve with bellows seal, opened and closed by pilot pressure, flange sizes 16 to 160.\u003c\/p\u003e\u003ch4 class=\"ps-h\"\u003eKey features\u003c\/h4\u003e\u003cul class=\"ps-feat\"\u003e\n\u003cli\u003eDouble acting: pilot port P-1 opens, P-2 closes the valve\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eAluminum body with SUS316L bellows; replaceable bellows assembly on sizes 16-80 (design -2)\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eOptional heaters (H4\/H5) and high-temperature version to 150 C (H0)\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eAuto switch (D-M9N\/M9P\/M9B\/A90\/A93, 1 or 2 pcs) is an order suffix, not expanded\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eSeal material change (EPDM, Kalrez, Chemraz, VMQ, ULTIC ARMOR etc.) via -X suffix\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e\u003ch4 class=\"ps-h\"\u003eSpecifications\u003c\/h4\u003e\u003ctable class=\"ps-kv\"\u003e\u003ctbody\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003eValve type\u003c\/th\u003e\n\u003ctd\u003eDouble acting, pressurize to open\/close\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003eFluid\u003c\/th\u003e\n\u003ctd\u003eInert gas under vacuum\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003eBody material\u003c\/th\u003e\n\u003ctd\u003eAluminum alloy (A6063)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003eSurface treatment\u003c\/th\u003e\n\u003ctd\u003eHard anodized outside, untreated inside\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003eOperating pressure\u003c\/th\u003e\n\u003ctd\u003e1x10^-6 Pa(abs) to atmospheric\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003eConductance\u003c\/th\u003e\n\u003ctd\u003eL\/s: 16=5, 25=14, 40=45, 50=80, 63=160, 80=200, 100=300, 160=800\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003eLeakage (FKM)\u003c\/th\u003e\n\u003ctd\u003eInternal 1.3x10^-10, external 1.3x10^-11 Pa m3\/s\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003ePilot pressure\u003c\/th\u003e\n\u003ctd\u003e0.3-0.6 MPa (16-50), 0.4-0.6 MPa (63-160)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003cth\u003eSource\u003c\/th\u003e\n\u003ctd\u003eSMC Korea XL catalogs (SMCKR_XL-2.pdf p. 8-9; SMCKR_XL.pdf p. 8-9)\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003c\/tbody\u003e\u003c\/table\u003e\u003ctable class=\"ps-src\"\u003e\u003ctbody\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-16-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 16 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-16H0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 16 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-16K-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 16 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Left of flange face | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-16KH0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 16 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Left of flange face | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-16L-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 16 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Rear of flange face | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-16LH0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 16 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Rear of flange face | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-16M-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 16 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Right of flange face | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-16MH0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 16 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Right of flange face | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25H0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25H5-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-150 C, 120 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25K-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Left of flange face | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25KH0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Left of flange face | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25KH5-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Left of flange face | Temperature: 5-150 C, 120 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25L-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Rear of flange face | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25LH0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Rear of flange face | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25LH5-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Rear of flange face | Temperature: 5-150 C, 120 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25M-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Right of flange face | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25MH0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Right of flange face | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-25MH5-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 25 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Right of flange face | Temperature: 5-150 C, 120 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40H0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40H4-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-150 C, 100 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40H5-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-150 C, 120 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40K-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Left of flange face | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40KH0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Left of flange face | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40KH4-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Left of flange face | Temperature: 5-150 C, 100 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40KH5-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Left of flange face | Temperature: 5-150 C, 120 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40L-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Rear of flange face | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40LH0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Rear of flange face | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40LH4-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Rear of flange face | Temperature: 5-150 C, 100 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40LH5-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Rear of flange face | Temperature: 5-150 C, 120 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40M-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Right of flange face | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40MH0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Right of flange face | Temperature: 5-150 C high temp, no heater\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40MH4-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Right of flange face | Temperature: 5-150 C, 100 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-40MH5-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 40 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Right of flange face | Temperature: 5-150 C, 120 C heater fitted\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-50-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 50 | Flange type: KF (NW) | Pilot port: Flange side | Temperature: 5-60 C standard\u003c\/td\u003e\n\u003c\/tr\u003e\n\u003ctr\u003e\n\u003ctd\u003eXLC-50H0-2\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003e\u003c\/td\u003e\n\u003ctd\u003eFlange size: 50 | Flange type: KF (NW) | 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